芯源微KrF涂胶显影机台入驻厦门士兰集科

  集微网消息,6月10日,沈阳芯源微电子设备股份有限公司(以下简称:芯源微)12寸KrF涂胶显影设备顺利入驻厦门士兰集科。

  芯源微官方消息显示,此次芯源微12寸高产能KrF涂胶显影量产机台的顺利交付,将会为士兰集科提供更加高端的光刻工艺解决方案及服务,为士兰集科后续高端产品稳定量产、产线升级扩产提供更为安全的供应链保障。澳门六开彩开奖直播现场,此外,芯源微与士兰集科签署了战略合作协议。

  值得一提的是,据集微网不完全统计,今年4月、5月,芯源微新增中标半导体设备共22台,涉及涂胶显影机、刷片机等。(校对/若冰)